半導体製造分野向け機器
ホストオンラインソリューション
CIMConnectTM・CIM300TM （Cimetrix製品）
半導体・液晶・太陽電池製造装置向けGEM/GEM300対応パッケージソフトウェア
特長
CIMConnectTMは半導体・液晶製造装置にGEMスタンダードを搭載するためのパッケージソフトウェアです。アーキテクチャはオブジェクト指向で開発されており、.NET環境でのアプリケーション開発に最適なソリューションです。 CIM300TMはCIMConnectTMのアドオンとして動作するGEM300パッケージです。GEM300で必要な規格が個別のDLLで提供されており、装置に必要となるGEM300の規格を選んで実装頂くことができます。
- 半導体・液晶製造装置向けの自動化対応プロダクトであり、世界中、多くのユーザにご利用頂いています。
- CIMConnectはマルチホスト接続機能を標準で用意しているため、MESとの接続に加え、2ndポートによるEES実現も可能です。
CIMConnectTM対応SEMIスタンダード
- E4 SECS-I (Serial protocol)
- E5 SECS-II
- E30 GEM
- E37 HSMS-II (Ethernet protocol)
CIM300TM対応SEMIスタンダード
- E4 SECS-I (Serial protocol)
- E5 SECS-II
- E30 GEM
- E37 HSMS-SS (Ethernet protocol)
- E39 Object Services
- E40 Process Job
- E87 Carrier Management
- E90 Substrate Tracking
- E94 Control Job
- E116 Equipment Performance Tracking
- E148 Time Synchronization and Definition
- E157 Module Process Tracking
本製品についてもっとお知りになりたい方は下記をご参照ください。
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