半導体製造分野向け機器
EDA/Interface Aソリューション
CIMPortalTMPlus （Cimetrix社製品）
半導体製造装置向けEDAスタンダード対応パッケージソフトウェア
特長
CIMPortal PlusTMは半導体製造装置にEDA（InterfaceA)を搭載するためのパッケージソフトウェアであり、SEMI規格FreezeI、FreezeⅡどちらにも完全準拠しています。
Cimetrix社はEDAの黎明期からCIMPortalの開発、販売を行っており、EDAパッケージとしてデファクトスタンダードの製品です。
SDK(Software Development kit)にはドラッグ&ドロップ操作で装置モデルを構築可能なEquipmentModelDevelopperが付属しており、難度の高い装置モデル構築をプログラマ以外の方でも実現可能です。
CIMPortal PlusTMにはEDA構築に十分なアプリケーションI/Fが用意されていますが、MAGNILOG/EDAとの併用により、簡単なSocket通信のみでEDAを実現することも可能です。
- データドリブンアーキテクチャを採用。高速なデータハンドリングを実現。
- 最先端の半導体製造FABにて要求される、高速かつ大量なデータ収集が容易に対応可能。
- ドラッグ&ドロップ操作による装置モデル構築可能
関連SEMIスタンダード
- E120 Specification for the Common Equipment Model (CEM)
- E125 Specification for Equipment Self Description (EqSD)
- E132 Specification for Equipment Client Authentication and Authorization
- E157 Specification for Model Process Tracking
- E164 Specificatin for EDA Common Metadata
本製品についてもっとお知りになりたい方は下記をご参照ください。
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