EESプラットフォームパッケージ
MAGNILOGシリーズ
ESSのためのデータの収集・蓄積・データ解析ツールまでをパッケージしています。SEMIスタンダード（EDA）およびSelete仕様（TDI）に対応しています。
特長
半導体製造装置のEESを実現するためのデータ収集パッケージです。
装置のセンサデータを取得するためのI/Fを多く用意しています。
収集した装置データはCSVファイル等に出力可能であり、Excel等でデータ解析を行うことができます。
収集したデータを活用したFDCシステムへも発展可能です。
お打合せにより、ニーズに合ったカスタマイズを行います。
- データ収集に必要な接続I/Fを各種標準搭載
- プログラムレスでセットアップ可能
用途・ソリューション
半導体製造装置のEES実現に最適なフレームワークです。
MAGNISNIFFERとの組み合わせにより、MESと装置間の通信シナリオに影響することなく、装置とのSECS通信を独自に実行することができます。
センサへの改造を行わずとも、S1F3/F4トランザクションの独自追加や必要なイベントやアラームのみを取得してMESだけでは難しかったEESの実現が可能です。
導入効果
- プロセス（製品）品質の安定化
- プロセスレシピ最適化のスピードアップ
- 装置故障原因の早期発見
- 装置予防保全の実現
- 装置の搬入から稼働までの期間短縮
詳細についてはカタログをご覧ください。
仕様一覧
基本仕様・環境仕様についてはお問い合わせフォームからお気軽にお問い合わせください。
MAGNISNIFEER
MAGNISNIFEER（装置データ収集ツール）は、装置とホストコンピュータ間のSECS通信をモニタし、必要なデータを収集するツールです。既存のSECS通信メッセージに存在しないデータも取得することができます。既設の製造ラインにMAGNISNIFFERを導入することにより、上位EESのための装置データを収集することができます。
詳細についてはカタログをご覧ください。
サポート体制
MAGNILOGシリーズは、その全てのコードが明電舎オリジナルです。お客様の質問やご意見も、カスタマーサポート窓口が直接お伺いし、直ちに対応させていただきます。
お客様サポートとして、専用窓口、トレーニングに加え、コンサルティングに至るまで豊富なメニューをご用意しております。
技術資料（マニュアル等）のダウンロードについては、技術サポートページをご覧ください。
下記の表はダウンロード対象製品一覧です。