適用分野光学
立体物である光学レンズに対しても、当社のソリューションが有効です。レンズ・メガネ・カメラレンズ等用の反射防止膜(AR膜)の成膜、OER処理でのレンズの曇り防止効果付与(フォグレスコート)等のアプリケーションがあります。立体物への成膜に関しては、一気に処理が可能なバッチ式の成膜装置PO-ALDが有効です。
PO-ALD technology is suitable for optical application such as anti-reflection coating that requires precise reflectivity and thickness control of films comprised of laminated layers such as SiO2 and Al2O3.