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ニュースリリース　2021年「VACUUM2021真空展」出展のお知らせ

  • 開催終了
  • 日本

多くの方にご来場頂き、盛況の内に終了致しました。ご来場頂きありがとうございました。

URL

https://biz.nikkan.co.jp/eve/vacuum/
会期 2021年12月1日（水） - 2021年12月3日（金）
会場

東京ビッグサイト 西ホール

会場地図（Google マップ）
主催者 一般社団法人日本真空工業会、 公益社団法人日本表面真空学会、 日刊工業新聞社
入場料 1,000円（入場登録者、招待状持参者、中学生以下は無料）　
概要

【出展品】
・展示パネル　７枚
・模型（シャワーヘッド・ALD装置）
・動画用モニター　3台

【展示内容】
・世界初！特許を持つピュアオゾン発生装置のご紹介
・PO-ALDによるバッチ式低温成膜技術・データご紹介
・熱・プラズマダメージレスのOER常温改質装置・改質データのご紹介

「常温ALD装置模型」「シャワーヘッド模型」「POGのモデリング３D動画」
※OER：Ozone-Ethylene Radical generation technology
※PO：Pure-Ozone

また、今年はなんと！会場でセミナーも開催しております！
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・12月3日（金）12：30～13：10＠会場A　セミナー開催
※12月5日～10日まで、当日のセミナーの様子を収めたものをウェブ配信（オンデマンド）

https://biz.nikkan.co.jp/eve/vacuum/seminars.html

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バーチャルブースも同時開催！【11月24日～12月10日】

https://autumnfair.nikkan.co.jp/account/form

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