ニュースリリース　2022年「VACUUM2022真空展」出展のお知らせ

2022年10月12日

URL	https://biz.nikkan.co.jp/eve/vacuum/
会期	【リアル会場】2022年10月19日(水)～2022年10月21日(金) 10:00-17:00 【オンライン会場】2022年10月12日(水)～2022年10月28日(金)
会場	東京ビッグサイト西ホール会場地図（Google マップ）
主催者	一般社団法人日本真空工業会、公益社団法人日本表面真空学会、日刊工業新聞社
入場料	1,000円（入場登録者、招待状持参者、中学生以下は無料）
概要	【展示内容】・ピュアオゾンジェネレーターのご紹介・Al2O3膜、SiO2膜、TiO2膜、HfO2膜成膜ご紹介・バッチ式常温PO-ALD装置のご紹介・ピュアオゾンを使った常温改質技術（OER）のご紹介 ※OER：Ozone-Ethylene Radical generation technology ※PO：Pure-Ozone またリアル展示会場ではピュアオゾンを用いた技術に関するセミナーも実施いたします。もしご都合宜しければ、是非ご聴講ください！【セミナー詳細】日程：2022年 10月20日（木）　12:30～13:10 場所：出展者セミナー会場C（西4ホール内）内容：世界初！ピュアオゾンを用いた改質・洗浄・成膜プロセス技術講師：篠　竜徳（技師） https://biz.nikkan.co.jp/eve/vacuum/seminars.html 【オンラインブース詳細】 ※閲覧には事前の来場登録をお願いします。 https://autumnfair.nikkan.co.jp/exhibitor?search_exhibition%5B%5D=3