導入事例真空ポンプ用　ブラシレスモータ（BLモータ）

導入効果: ・半導体製造装置用真空ポンプ用ブラシレスモータ。
・小型、軽量化を実現。
・高性能ネオジム磁石採用し高効率化
・CANモータ（腐食性ガス対応）
・精密機械加工による高信頼性モータ

仕様一覧

用　　　途	仕　　様	回転数	定格トルク
真空ポンプ用	ネオジムインナーロータモータ（ビルドイン構造）サイズ：φ100×Lg 47.5/67.5	4900/3500min-1	定格トルク：0.78/2.05N・m
	ネオジムインナーロータモータ（ビルドイン構造）サイズ：φ100×Lg 145	8000min-1	7.2N・m
	ネオジムインナーロータモータ（ビルドイン構造）サイズ：φ210×Lg 100	6400min-1	11.2N・m

小型軽量化、低コスト化、高機能化、高効率化など多様な用途に対応可能、15kWまで製作可能です。