明電舎は、半導体製造装置をはじめとする各種自動化装置からのセンシングデータを収集し、ＡＩ学習結果から対象装置の異常を検知し、エンドポイントで予知保全を行う小型AIエッジコントローラを販売開始しました。

今回の開発の背景として、生産工場における装置からの莫大なセンシングデータをすべてクラウド上で処理しようとした場合、ネットワーク帯域の制限による伝送遅延が発生し、リアルタイム性を確保出来ないという現状があります。小型AIエッジコントローラを使用し、エンドポイントにおいてセンシングデータを処理する事により、リアルタイム性の確保と通信速度低下を防ぐことを可能にしました。更にAI学習により、装置異常アラームの虚報が減少し、高精度な異常検知が可能になりました。



〈AI学習手順〉
① AIエッジコントローラを対象装置に接続しセンシングデータを収集します。
② 収集したセンシングデータをAI学習サーバに送信します。
③ AI学習サーバはオフラインで機械学習し、AIパラメータ（学習結果）を生成します。
④ 生成したAIパラメータ（学習結果）をAIエッジコントローラへ書き込みます。
⑤ 書き込まれた学習結果をもとに、センシングデータの正常／異常を自律判断します。

〈特長〉
１．AI学習サーバの学習結果から、AIエッジコントローラが単独で自律判断可能
２．半導体通信規格（SECS^※1）対応モデルをラインアップ（開発中・2018年1月完了予定）
３．装置外付け可能な小型サイズを実現（H200mm×W140mm×D47mm）

〈適用分野〉
半導体製造機器等の各種自動化ライン

※１ SECS：SEMI Equipment Communications Standard（SEMIスタンダード）にて半導体製造装置で使用している通信プロコトルのこと。

展示会出品情報

下記にてAIエッジコントローラの出展、デモンストレーションを行います。

SYSTEM CONTROL FAIR 2017
http://scfmcs.jp/
開催日：2017年11月29日（水）-12月1日（金）
場所：東京ビッグサイト

SEMICON JAPAN 2017
http://www.semiconjapan.org/
開催日：2017年12月13日（水）-12月15日（金）
場所：東京ビッグサイト 

 

本件及び取材に関するお問い合わせ先

株式会社 明電舎  総務部 広報課
電話 03-6420-8100