適用分野高機能フィルム

プラズマや熱を加えないピュアオゾンを用いた成膜では、フィルムにダメージレスを与えずに化学反応だけで成膜することが出来ます（CVD・ALD）。特に熱に弱い高機能フィルムに対して、バリア性を持たせるハイバリア成膜を行うことが可能です。（Al2O3膜）
明電舎が特許（特許第6575641号）を取得したシャワーヘッド構造の独自技術により、「均一性」「高速成膜」「高いガス利用効率・省エネ」を実現しました。フィルムにも改質効果があり、親水性を大きく改善させフィルムの接着性向上等のアプリケーションが期待できます。同効果は2週間程度維持することが確認されています。

We’ve achieved the synthesis of a high gas/water barrier film without heat and plasma damage. This will be a big advantage for the application of deposition on heat-sensitive material.

ハイバリアフィルムへの適用例

フィルムの改質例