適用分野先端技術
先端技術に関しても、ピュアオゾンを用いたPO-ALDが有効です。例えばリチウムイオン電池用セパレータへの成膜、また粉体への成膜も期待できます。
Our PO-ALD technology is applicable to advanced technologies of nano-scale 3D-surface coating of glass balls, particles and powders, all of which requires uniform transport and reaction of ozone at a precursor-adsorbed surface.
ピュアオゾンを用いた成膜例
![ピュアオゾンを用いた成膜例](/npi/application/images/apli_05_01.png)
![反射防止膜](/npi/application/images/apli_05_02.png)