適用分野先端技術

先端技術に関しても、ピュアオゾンを用いたPO-ALDが有効です。例えばリチウムイオン電池用セパレータへの成膜、また粉体への成膜も期待できます。

Our PO-ALD technology is applicable to advanced technologies of nano-scale 3D-surface coating of glass balls, particles and powders, all of which requires uniform transport and reaction of ozone at a precursor-adsorbed surface.

ピュアオゾンを用いた成膜例