真空展2022 特設サイトコンテンツ（PDF:1,359KB）

OERによるOHラジカル発生メカニズム

QCMセンサによる酸化ラジカル定量評価

低濃度オゾンとの比較

常温対応OER装置のご紹介

*OER：Ozone-Ｅthylene Ｒadical generation technology

OER改質処理対象基材