オゾンって何だろう？

オゾンは私達にとってより身近で，かつ重要なものになっています。今から46億年前にこの地球が，そして10億年前に真核生物が誕生した頃には，地表には酸素がなく，生物にとって有害な紫外線が降り注いでいました。しかしその後、地上の酸素濃度が次第に増加し，4億年前のシリル期に成層圏にオゾン層ができ，それが太陽光の紫外線を吸収することにより陸上は安全な生活の場に変わっていきました。

Pure ozone means high concentration(≒100%） and purity ozone . We’ve achieved continuous supply of pure ozone with our unique patented technology.

オゾンはどうやって作るの?

オゾンは、一般に空気中での紫外線照射、または酸素中での無声放電など高いエネルギーを持つ電子と酸素分子の衝突によって発生する。こうして発生したオゾンガスの濃度は、せいぜい20％程度であり、この原理を利用してオゾンを発生させる装置が一般的なオゾナイザーです。

ピュアオゾンってどうやって作るの?

オゾナイザーを通過した酸素含有オゾンガス（濃度<20％）を融点（-183℃，90K）まで冷やし、オゾンを液化すると同時に、気体の酸素を真空排気します。それにより99％以上の濃度を持つO3を得ることが可能となりました。（＝当社が特許を持つピュアオゾン）

従来の低濃度オゾンガス（～20％）には不純物が混入しやすく、常圧下、さらに減圧下では急速に分解してしまうというデメリットがありました。しかし当社のピュアオゾンガスでは重金属フリーで高純度、さらにオゾンの長寿命化、反応性の向上、高温下での処理効率向上など様々なメリットを実現しました。

ピュアオゾンで何ができるの?

下記の通り、ピュアオゾン単体ではMBE（分子線エピタキシー）用の酸化源、半導体装置のIn-Situリアルタイム洗浄など様々な場面でピュアオゾンは使われています。またピュアオゾンにエチレンガスを混合すると、OHラジカルを大量に効率よく発生させることが可能になります。それを応用展開した常温成膜装置（ALD/CVD）や表面改質装置やアッシング装置も開発しており、将来的にはピュアオゾンを用いた高濃度オゾン水、常温無接着接合、殺菌装置などの応用も展開予定です。