特長

基本サービス

■保守メンテナンスサービス

稼働率の向上、装置の維持・管理を追求し、ご提案します。

＜主なサービス＞

定期点検・トラブル対応などのフィールドサービス、予防保全、常駐保守、装置解体・移設作業、付帯設備サービス など

■リペアサービス

長年の経験による信頼のリペア技術をご提供します。

＜取扱品目＞

プリント基板、各種電源ユニット、ＲＦ関連機器、マスフローコントローラ、熱交換器など

■装置再生サービス

実績が証明する優れた技術力をご提供します。

＜取扱品目＞

CVD装置、PVD装置、露光装置、エッチング装置 など

特種サービス

■装置延命サービス

旧型装置・機器類を豊富なメニューで延命します。

＜特長＞

• 部品入手不可等の理由で修理できない機器類については、代替技術を活用
• 修理を基本とすることで費用を抑え、代替技術で信頼性を向上

■オンライン通信サービス

製品着工処理をリモート制御により自動化します。

＜特長＞

• お客様の生産管理システムと装置を仲介、コマンド転送によるリモート制御
• AI異常判定、データ収集など、関連製品との連携

サポート情報

明電グループのメンテナンスサービス・拠点についての詳細はこちらでご覧ください。