製品特長

用途・ソリューション

半導体製造装置のEES実現に最適なフレームワークです。

MAGNISNIFFERとの組み合わせにより、MESと装置間の通信シナリオに影響することなく、装置とのSECS通信を独自に実行することができます。

センサへの改造を行わずとも、S1F3/F4トランザクションの独自追加や必要なイベントやアラームのみを取得してMESだけでは難しかったEESの実現が可能です。

導入効果

• プロセス（製品）品質の安定化
• プロセスレシピ最適化のスピードアップ
• 装置故障原因の早期発見
• 装置予防保全の実現
• 装置の搬入から稼働までの期間短縮

詳細についてはカタログをご覧ください。

仕様一覧

基本仕様・環境仕様についてはお問い合わせフォームからお気軽にお問い合わせください。

MAGNISNIFEER

MAGNISNIFEER（装置データ収集ツール）は、装置とホストコンピュータ間のSECS通信をモニタし、必要なデータを収集するツールです。既存のSECS通信メッセージに存在しないデータも取得することができます。既設の製造ラインにMAGNISNIFFERを導入することにより、上位EESのための装置データを収集することができます。
詳細についてはカタログをご覧ください。

サポート体制

MAGNILOGシリーズは、その全てのコードが明電舎オリジナルです。お客様の質問やご意見も、カスタマーサポート窓口が直接お伺いし、直ちに対応させていただきます。
お客様サポートとして、専用窓口、トレーニングに加え、コンサルティングに至るまで豊富なメニューをご用意しております。

技術資料（マニュアル等）のダウンロードについては、技術サポートページをご覧ください。
下記の表はダウンロード対象製品一覧です。