製品特長

1. 1.コンプライアンステストを自動実行
   • コンプライアンステスト項目を包含
   • テスト結果ドキュメントを自動生成
2. 2.SECS-Ⅱ(E5規格)メッセージをテンプレート提供
   • アイテム値の入力のみで簡単にSECS-Ⅱメッセージ作成可能
   • 同一Stream/Functionであっても複数パターンのメッセージ登録が可能
3. 3.その他
   • オンラインシミュレータとして利用可能
     定義済みメッセージを用いた装置との通信トランザクション実行可能
   • オンラインシナリオ等のスクリプトをC＃等を用いて自由に構築
     自作スクリプトはEquipmentTest ProのPlug-Inとして任意のタイミングで実行可能
   • 装置受入検査、出荷検査の自動化に寄与

仕様

対応 SEMI スタンダード

• E5SECS-II
• E37/E37.1HSMS-SS
• E30GEM
• E172SEDD
• E173SMN

動作環境

• 対応OS：Windows10、Windows11
• Plug-In開発言語：Microsoft Visual C#、Microsoft Visual Basic .NET
• CPU：Intel core i5以上推奨
• メモリ：4GB以上推奨
• ストレージ：250GB以上の空き容量推奨

用途・ソリューション

以下の用途でご利用いただけます。

• 装置のオンライン機能（SECS通信）開発やデバッグ時の対抗用ホストシミュレータ
• GEM実装時のGEMコンプライアンステストツール
• 装置メーカ様でのオンライン機能出荷テスト
• 半導体メーカ様での装置受入テスト

1. ※Windows は 米国Microsoft Corporation の登録商標です。
2. ※EquipmentTest は 米国Cimetrix の登録商標です。
3. ※Intel Core は Intel Corporation の登録商標です。