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CCFアーキテクチャ

半導体製造分野向け機器装置制御ソリューション CIMControl Framework™ （Cimetrix社製品）

半導体・液晶製造装置制御システム構築用フレームワーク

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製品特長

CIMControlFrameworkTM （CCF）は、最新のソフトウェアテクノロジを使用した半導体・液晶製造装置向けの制御システム構築用フレームワークです。
本フレームワークを利用することで、最新のSEMIスタンダードに準拠した製造装置制御ソフトウェアを、短期間かつ低コストにて開発することが可能です。

  • データドリブンアーキテクチャの採用による高速なデータハンドリングが可能
  • サービスオリエンテッドアーキテクチャの採用により、機能毎の追加やアップデートを高い生産性で実現
  • 最新のプログラミング環境の採用による、高効率な作業環境を提供
  • GEM/GEM300スタンダードに完全対応
  • EDA（フリーズバージョンII）に完全対応
  • オープンソースにより、ユーザサイトでのメンテナンスが可能

装置制御を容易に実現

「最新FABで要求される高次元な装置制御を容易に実現」

Cimetrix社がCIMPortalTMで培った高速データドリブンアーキテクチャを採用しており、フレームワーク内での高速なデータハンドリングを可能にしています。これにより、APCやFDCと言った最新のユーザニーズに容易に対応可能です。
また、C#による完全なオブジェクトオリエンテッドなコードで記述されたモジュラアーキテクチャであるため、モジュール間結合強度が低く、機能毎の追加やアップデートも容易です。
勿論、Cimetrix社の主力製品であるGEM/GEM300プロダクト及びEDAプロダクトを追加することで、最新のエンドユーザ要求仕様にも容易に対応可能です。
尚、CCFは、ユーザにソースコードが公開されてます。これは、装置開発における品質保証には重要な要素です。

関連SEMIスタンダード

  • SEMI E5 SEMI Equipment Communications Standard 2 Message Content (SECS-II)
  • SEMI E30 Generic Model for Communications and Control of Manufacturing Equipment (GEM)
  • SEMI E37 High-Speed SECS Message Services (HSMS)
  • SEMI E39 Object Services Standard: Concepts, Behavior, and Services
  • SEMI E40 Standard for Processing Management
  • SEMI E84 Specification for Enhanced Carrier Handoff Parallel I/O Interface
  • SEMI E87 Specification for Carrier Management (CMS)
  • SEMI E90 Specification for Substrate Tracking
  • SEMI E94 Specification for Control Job Management
  • SEMI E95 Specification for User Interface
  • SEMI E99 Specification for SECS-I and SECS-II Protocol for Carrier ID Reader/Writer Functional Standard
  • SEMI E116 Specification for Equipment Performance Tracking
  • SEMI E120 Specification for the Common Equipment Model (CEM)
  • SEMI E125 Specification for Equipment Self Description (EqSD)
  • SEMI E132 Specification for Equipment Client Authentication and Authorization
  • SEMI E134 Specification for Data Collection Management
  • SEMI E148 Specification for Time Synchronization and Definition of the TS-Clock Object
  • SEMI E157 Specification for Module Process Tracking (MPT)

本製品についてもっとお知りになりたい方は下記をご参照ください。

https://www.cimetrix.com/jp

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